Ellipsométrie

L'ellipsométrie est une technique optique non destructive utilisée pour caractériser les propriétés des surfaces et des couches minces. Elle repose sur la mesure des changements dans l'état de polarisation de la lumière lorsqu'elle est réfléchie sur une surface.
Pour extraire des informations sur les propriétés d'un échantillon, les données mesurées sont comparées à des modèles théoriques. Ces modèles prennent en compte les indices de réfraction et les coefficients d'extinction des matériaux ainsi que l'épaisseur des couches minces.