Module de vide Voltera

Le module de vide est à insérer pour fixer des substrats flexibles ou souples sur NOVA. Il contient une surface en titane poreux, permettant un flux d'air uniforme pour fixer uniformément n'importe quel substrat à tous les points. L'arrière du module comporte quatre ports de vide qui se connectent à un collecteur de vide à l'intérieur.